氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的區(qū)分

1、 質(zhì)量流量計(jì)，質(zhì)量流量控制器的概念

上海自動(dòng)化儀表有限公司質(zhì)量流量計(jì)，即Mass Flow Meter (MFM)，是一種準(zhǔn)確測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償。

質(zhì)量流量控制器，即Mass Flow Controller (MFC)，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置，是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)連接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。

簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，質(zhì)量流量計(jì)只測(cè)量不控制。而質(zhì)量流量控制器，則帶有控制閥門(mén)，既可以測(cè)量也可以控制氣體流量大小。

2、 質(zhì)量流量計(jì)，質(zhì)量流量控制器的流量單位

氣體質(zhì)量流量單位一般以SCCM（Standard Cubic Centimeter per Minute）和SLM (Standard Liter per Minute) 來(lái)表示，亦即每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升、每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別，也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之處。

如果需要單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)的質(zhì)量（如g/min），可以查閱標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度，然后作乘法就可以了。

3、質(zhì)量流量計(jì)／質(zhì)量流量控制器的主要的優(yōu)點(diǎn)

（1） 直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量

熱式質(zhì)量流量計(jì)直接測(cè)量流體質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號(hào)，無(wú)需其他設(shè)備，如溫度測(cè)試儀和壓力表，也無(wú)需進(jìn)行換算。

（2） 無(wú)可移動(dòng)部分

本身無(wú)類似轉(zhuǎn)軸等的移動(dòng)部件，增加了本身的可靠性，無(wú)需機(jī)械維護(hù)。

（3） 可以準(zhǔn)確的測(cè)量微小流量，采用分流裝置，又可以測(cè)量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。

（4） 測(cè)量控制的自動(dòng)化

質(zhì)量流量計(jì)／質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示，流量自動(dòng)計(jì)量，數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄，計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常,?模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0～+5V或4～20mA,?數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口,?能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接,?進(jìn)行自動(dòng)控制。

（5） 準(zhǔn)確地定量控制流量

上海自動(dòng)化儀表有限公司質(zhì)量流量控制器可以準(zhǔn)確地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制，是用于對(duì)于不同氣體的比例控制等。

（6） 準(zhǔn)確度高，重復(fù)性好

準(zhǔn)確度可達(dá)+-1%F.S（full scale）重復(fù)性為＋-0.25%F.S（full scale）

（7） 體積小巧，安裝方便，操作簡(jiǎn)單

（8） 技術(shù)先進(jìn)，符合發(fā)展潮流